超净工作台尘埃粒子数的检测记录表
采样点 |
A |
B |
C |
||||||||||||||
第一次 |
采样次数 |
1 |
2 |
3 |
1 |
2 |
3 |
1 |
2 |
3 |
|||||||
≥0.5μm |
35 |
36 |
37 |
56 |
55 |
57 |
43 |
44 |
45 |
||||||||
平均值 |
36 |
56 |
44 |
||||||||||||||
≥5μm |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
||||||||
平均值 |
0 |
0 |
0 |
||||||||||||||
第二次 |
采样次数 |
1 |
2 |
3 |
1 |
2 |
3 |
1 |
2 |
3 |
|||||||
≥0.5μm |
41 |
43 |
42 |
45 |
46 |
47 |
46 |
43 |
43 |
||||||||
|
平均值 |
42 |
46 |
44 |
|||||||||||||
≥5μm |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
||||||||
平均值 |
0 |
0 |
0 |
||||||||||||||
第三次 |
采样次数 |
1 |
2 |
3 |
1 |
2 |
3 |
1 |
2 |
3 |
|||||||
≥0.5μm |
46 |
7 |
9 |
11 |
17 |
51 |
14 |
9 |
2 |
||||||||
|
平均值 |
21 |
27 |
9 |
|||||||||||||
≥5μm |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
||||||||
平均值 |
0 |
0 |
0 |
||||||||||||||
标准规定 |
≥0.5μm尘粒数(粒?m-3) |
≤3500 |
|||||||||||||||
≥5μm尘粒数(粒?m-3) |
0 |
||||||||||||||||
结论 |
符合标准规定 |
||||||||||||||||
检查人:唐鹏程 复核人:蒋铭强 检查日期:2013-04-24