超净工作台的风向测试
超净工作台的风向测试
测试方法是喷烟的烟雾笔
采样点如图
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风 向 |
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采样点 |
1 |
2 |
3 |
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检验结果 |
120 |
110 |
130 |
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可接受标准 |
偏差不超过140 |
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结论 |
符合规定 |
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操作人：唐鹏程 复核人：蒋铭强 日期：2013.4.25
附：超净工作台的平均风速测试
在超净工作台的主过滤器或扩散板下游10cm处的平面,把该平面面积分成不得少于12等分面积,各面积中心点,各测点之间距离不应大于25cm,用热球风速仪或热敏电阻风速仪来测量各点风速,取平均值为截面风速.
风速均匀性按下式计算:
×100%
式中:Y–风速均匀性,%
V–截面风速最大值或最小值,m/s
–截面平均风速,m/s.
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◆1 |
◆2 |
采样点如图：