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超净工作台尘埃粒子数的检测记录表

超净工作台尘埃粒子数的检测记录表

采样点

A

B

C

 

 

 

 

第一次

采样次数

1

2

3

1

2

3

1

2

3

≥0.5μm

35

36

37

56

55

57

43

44

45

平均值

36

56

44

≥5μm

0

0

0

0

0

0

0

0

0

平均值

0

0

0

第二次

采样次数

1

2

3

1

2

3

1

2

3

≥0.5μm

41

43

42

45

46

47

46

43

43

 

平均值

42

46

44

≥5μm

0

0

0

0

0

0

0

0

0

平均值

0

0

0

第三次

采样次数

1

2

3

1

2

3

1

2

3

≥0.5μm

46

7

9

11

17

51

14

9

2

 

平均值

21

27

9

≥5μm

0

0

0

0

0

0

0

0

0

平均值

0

0

0

标准规定

≥0.5μm尘粒数(粒?m-3

≤3500

≥5μm尘粒数(粒?m-3

0

  结论

符合标准规定

检查人:唐鹏程  复核人:蒋铭强            检查日期:2013-04-24

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